Grafit ostyahajó félvezető-feldolgozáshoz

Grafit ostyahajó félvezető-feldolgozáshoz

Termék áttekintése

A Jincheng grafitlemezek félvezető-feldolgozáshoz nagy tisztaságú, precíziós megmunkálású grafithordozók, amelyeket arra terveztek, hogy szilíciumlemezeket tartsanak különféle félvezető-gyártási folyamatok során, beleértve az oxidációt, diffúziót, CVD-t és epitaxiát. Ezek a csónakok egyenletes ostyafeldolgozást és minimális részecskeképződést biztosítanak.

Félvezető ostyahajóink ultranagy tisztaságú, finomszemcsés izosztatikus grafitból készülnek, amely megfelel a félvezetőipar legszigorúbb követelményeinek. Egyedi nyíláskialakítások és ostyaméretek állnak rendelkezésre a különböző kemencemodellekhez és ostyaátmérőkhöz.

Főbb jellemzők

• Ultra-nagy tisztaságú grafit20 ppm alatti hamutartalommal, félvezető minőségű lapkafeldolgozáshoz
• Kiváló termikus egyenletességa konzisztens ostyafeldolgozási eredmények érdekében
• Precíziós slot kialakítása pontos ostyaelhelyezés és a minimális érintkezési felület érdekében
• Alacsony részecskeképződésa tisztatér környezet integritásának megőrzése érdekében
• Magas hőmérsékleti stabilitás1200 fokig oxidáló és redukáló atmoszférában
• Méretkonzisztenciaautomatizált lapkakezelő rendszerekhez
• Egyedi méretek kaphatók100 mm-es, 150 mm-es, 200 mm-es és 300 mm-es ostyákhoz
• Hosszú élettartammegfelelő kemence légkörrel és kezelési eljárásokkal

Műszaki előírások

Alkalmazások

• Ostyaoxidációs és diffúziós kemencékhőfeldolgozáshoz
• CVD (kémiai gőzleválasztás) eljárásokvékonyréteg-leválasztáshoz
• Epitaxiális növekedési kemencékszilícium epitaxiához
• Lágyító és feszültségmentesítő kemencékostyafeldolgozáshoz
• Tisztatéri ostyafeldolgozásfélvezetőgyártó gyárak számára
• K+F ostya feldolgozásfélvezetőkutató intézetek számára

Miért válassza a Jincheng grafit ostyahajókat?

• Félvezető minőségű ultra-nagy tisztaságú grafita legigényesebb ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz
• Precíziós CNC megmunkálásszűk réstűréssel a pontos ostyaelhelyezés érdekében
• Főbb kazánmárkákkal szerzett tapasztalatbeleértve a TEL-t, az Applied Materials-t és a Kokusai-t
• Egyedi hajótervekaz Ön speciális kemence- és ostyafeldolgozási követelményeihez optimalizálva
• Versenyképes árképzésaz importált félvezető grafithordozókhoz képest
• Gyors szállítás- standard hajók 1 héten belül, egyedi 2-3 héten belül
• Technikai támogatása hajó tervezésének optimalizálásához és a folyamatok javításához
• Globális szállításfélvezetőgyáraknak és kutatóintézeteknek világszerte

Gyakran Ismételt Kérdések

1. kérdés: Milyen ostyaméreteket támogatnak a hajói?
V: Gyártunk ostyahajókat minden általános ostyamérethez, beleértve a 100 mm-es (4 hüvelykes), 150 mm-es (6 hüvelykes), 200 mm-es (8 hüvelykes) és 300 mm-es (12 hüvelykes) méreteket. Speciális ostyaformátumokhoz egyedi méretek is rendelkezésre állnak.

2. kérdés: Mennyi ideig bírják az ostyahajók a félvezető kemencékben?
V: A csónak élettartama a kemence légkörétől és a feldolgozási körülményektől függ. Tipikus oxidációs és diffúziós körülmények között a grafit ostyahajók 6-12 hónapig bírják, mielőtt cserére szorulnának.

3. kérdés: Lehet-e tantál-karbid (TaC) bevonatú hajókat gyártani?
V: Igen, TaC bevonatolási szolgáltatásokat kínálunk a hajó élettartamának meghosszabbítása és a fémszennyeződés csökkentése érdekében a fejlett félvezető-feldolgozási alkalmazásokban.

4. kérdés: Biztosítasz tisztatéri csomagolást?
V: Igen, minden félvezető grafit alkatrészünket tiszta helyiségben tisztítjuk és csomagoljuk, hogy megfeleljenek a félvezető gyártási szabványoknak.